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Sensor Innovationspreis 2008

Zum achten Mal hat der AMA Fachverband für Sensorik e.V. aus Anlass der SENSOR+TEST den mit 10.000 € dotierten Sensor Innovationspreis ausgeschrieben. Der Preis zeichnet die Entwickler aus und nicht die Institutionen. In diesem Jahr kamen rund 35 Prozent der Bewerbungen aus dem Ausland, was die hohe internationale Reputation des Preises bestätigt. Der Preis 2008 geht an das Team Dr. Norbert Neumann (InfraTec GmbH,  Dresden), Dr. Karla Hiller (TU Chemnitz - ZMT) und Dr. Steffen Kurth (Fraunhofer IZM Chemnitz).Die ausgezeichnete Arbeit „Spektral durchstimmbarer Infrarot-Detektor mit mikromechanischem Fabry-Perot-Filter“ befasst sich mit einem hochaktuellen Verfahren zur IR-Sensorik. Die Infrarot-Sensorik und -Messtechnik hat ein breites Anwendungsspektrum in der Analyse von Gasen, Flüssigkeiten und Oberflächen. Bisher hatte der Anwender die Wahl zwischen kompakten Sensoren auf Filterbasis (NDIR), die nur in einem Wellenlängenbereich arbeiten, und aufwändigen spektrometrischen Lösungen. Seit langem wird daher versucht, das gut miniaturisierbare Fabry-Perot-Interferometerprinzip zur Realisierung durchstimmbarer, mikromechanischer IR-Filter einzusetzen. Mit dem nun vorliegenden, in Volumen-Mikromechanik realisierten System ist es durch konsequente Optimierung des Aufbaus und der Prozessierung erstmals gelungen, ein leistungsfähiges Modul mit guter spektraler Auflösung und hoher optischer Qualität zu realisieren, das vielfältige Anwendungen von der Umwelt- über die Sicherheits- bis zur Medizintechnik erschließt.