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Farbsensoren für bessere Sicht

Für viele Fahrassistenzsysteme sind hochwertige Kameras notwendig, die hohe Umgebungstemperaturen aushalten können sowie besonders klein, leicht und robust zugleich sein müssen. Heutzutage verwendet man für die meisten Systeme im Auto CMOS-Sensoren. Das sind Halbleiterchips, die Lichtsignale in elektrische Impulse verwandeln und in den meisten Digitalkameras eingebaut sind. Doch bisher sind die Sensoren für Industrie- und Spezialkameras meist farbenblind.
Nun haben Forscher vom Fraunhofer-Institut für Mikroelektrische Schaltungen und Systeme IMS in Duisburg einen neuen Fertigungs-Prozess für CMOS-Bildsensoren entwickelt, der den Chips beibringt, Farbe zu sehen. Üblicherweise werden die Bildsensoren auf Silizium-Wafer mit Hilfe eines Halbleiterverfahrens hergestellt, dem CMOS-Prozess. „Wir haben ein Farbfiltersystem in den Prozess integriert“, erklärt Prof. Dr. Holger Vogt, stellvertretender Institutsleiter am IMS. „So wie das menschliche Auge spezielle Zapfentypen benötigt, muss man Farbfilter vor die Sensoren schalten, damit sie Farben erkennen können.“ Diese Aufgabe übernehmen gefärbte Polymere in den Grundfarben Rot, Grün und Blau. Jedes Pixel auf dem Sensor ist mit einer der drei Farben beschichtet. Dazu „schleudert“ eine Maschine eine Mikrometer dicke Polymerschicht auf die Sensorscheibe auf. Mit Hilfe von UV-Licht und einer Maske, die nur an den gewünschten Pixeln lichtdurchlässig ist, härtet man die Farbe an den entsprechenden Stellen aus und wäscht den Rest anschließend ab.